設備導入事例 微細部品 半導体微細部品外観画像検査装置

リコーエレメックスの産業機器設備は30年を越える実績を誇り、様々な分野で導入・ご活用いただいております。その一例をご紹介いたします。

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■お客様のご要望

横1.4×縦1.0mm、厚さ30µmの微小部品の
欠け、ヒビ、異物、寸法などの様々な外観検査を
自動で行い検査人員の削減をしたい。

検出ポイント

  • ・微細ハンドリング技術によってワークをひとつずつインデックステーブルに搬送し、高速撮像。
  • ・照明を4方向から照射して、不良部位を鮮明化。
  • ・リコーの画像プロセッサLSI「Riチップ」を搭載し高速画像処理。

・分解能2µm、微細欠陥も検出・タクトタイム0.5秒の高速処理を実現!・薄く小さな部品も確実に撮像・検査可能

外観検査員を1名削減!負担の大きい顕微鏡作業を自動化し、不良見落としを防止!

新開発技術
時間相関技術応用の
塗装曲面外観画像検査

画像検査デモルーム

お客様の問題解決に
全力を尽くします。
お困りの事がある方は
ぜひ一度お問い合わせください。

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